ОАО "Шлиф-Пром"

Тем не менее, если решить проблему осуществления недорогой технологии производства SiC плазмохимическим методом в больших объемах, в будущем можно было бы найти способ перекристаллизации синтезируемого продукта в замкнутом цикле, реализуя таким образом идею непрерывного процесса производства карбида кремния.
Получение SiC методом пиролитического осаждения. Метод пиролитического осаждения основан на синтезе карбида кремния из продуктов пиролитического разложения кремний- и углерод-isa
содержащих органических продуктов, таких как хлорид кремния (IV) и толуол, метилхлорсиланы и др. Наибольшее число исследований проводилось с использованием для синтеза карбида кремния метилхлорсиланов (СН35ШС12 и СН351С13), подвергаемых пиролизу при температурах в диапазоне 1673—2173 К- Результаты исследований многих авторов показали, что, регулируя концентрацию и скорость подачи реакционной смеси, можно получить при пиролизе кремнийорганических соединений как монокристаллы БЮ, так и пиролитически осажденные осадки плотностью 3210 кг/м3, состоящие из кристаллов размером 0,258—1 мкм, а также нитевидные кристаллы сечением 3—10 мкм и длиной до 10 мм.
При синтезе плотных поликристаллических слоев карбида кремния были получены осадки толщиной до 3 мм и более.
Во многих работах обращается внимание на благоприятное влияние водорода, используемого при синтезе в качестве добавок к газу-носителю (аргону). При этом роль водорода рассматривается как агента, повышающего выход и почти полностью устраняющего сажеобразование.
На основе пиролитического метода осаждения А. А. Пле-тюшкиным и М. В. Карасевой разработана оригинальная технология получения изделий в виде плотных тел различной формы и размеров и состоящих из осадков 51С плотностью порядка 3100— 3150 кг/м3 и размером слагающих их частиц ~1 мкм. Сущность такой технологии заключается в том, что осаждение В-БЮ ведется на предварительно подготовленную подложку необходимой формы из графита или другого углеродистого материала. Осаждаемый слой В-БЮ копирует форму подложки, которая по окончании процесса осаждения выжигается, а осадок В-БЮ заданной формы и размеров остается и используется в виде детали для различных целей.